ASML研发第二代EUV光刻机:性能提升70% 2025年问世

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SML研发第二代EUV光刻机:性能提升70% 2025年问世

半导体制造过程中最复杂也是最难的步骤就是光刻,成本能占到整个生产过程的1/3,光刻机也因此成为最重要的半导体制造装备,没有之一。目前最先进的光刻机是荷兰ASML公司生产的EUV光刻机,每台售价超过1亿美元,而且供不应求。

2019年,台积电、三星都会开始量产7nm EUV工艺,现有的EUV光刻机也差不多成熟了,虽然产量比起传统的DUV光刻机还有所不如,不过已经能够稳定量产了,7nm及明年的5nm节点上EUV光刻机都会是重点。

EUV光刻机未来还能怎么发展?2016年ASML公司宣布斥资20亿美元收购德国蔡司公司25%的股份,并投资数亿美元合作研发新一代透镜,而ASML这么大手笔投资光学镜头公司就是为了研发新一代EUV光刻机。

日前韩媒报道称,ASML公司正积极投资研发下一代EUV光刻机,与现有的光刻机相比,二代EUV光刻机最大的变化就是High NA(高数值孔径)透镜,通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩分辨率、套准精度两大光刻机核心指标提升70%,达到业界对几何式芯片微缩的要求。

在这个问题上,ASML去年10月份就宣布与IMEC比利时微电子中心合作研发新一代EUV光刻机,目标是将NA从0.33提升到0.5以上,而从光刻机的分辨率公式——光刻机分辨率=k1*λ/NA中可以看出,NA数字越大,光刻机分辨率越高,所以提高NA数值孔径是下一代EUV光刻机的关键,毕竟现在EUV极紫外光已经提升过一次了。

之前ASML公布的新一代EUV光刻机的量产时间是2024年,不过最新报道称下一代EUV光刻机是2025年量产,这个时间上台积电、三星都已经量产3nm工艺了,甚至开始进军2nm、1nm节点了。
 
最后编辑: 2019-07-04
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再次确认!中芯国际无法突破7nm,台积电率先进入5nm领先5年或三代

众所周知,由于我国在芯片领域的起步较晚,因此在芯片技术方面的造诣与西方国家系相比确实还有着很大的差距,这一点我们是不可否认的,但即便如此,我国也并未就此放弃,并且在芯片技术领域加大投资,以此来缩小与西方国家的差距。

既然说到芯片,那么不得不说的就芯片制造企业。虽然我国所掌握的芯片技术确实匮乏,但代表着国产芯片制造的台积电,目前已经走在了世界前沿。要知道,全球众多芯片都是由台积电代工,甚至在去年之际,台积电在全球芯片制造领域占据了68%上下的市场份额,而国内的芯片制造企业中芯国际所占的比例也只是6%。所以纵观全球芯片制造市场,基本上都是被三星和台积电垄断的。

实际上,早在2010年之际,台积电凭借着28nm芯片制造工艺拿到了iPhone6的订单。反观中芯国际,直到2013年才着手于28nm范畴研究,并且到2017年中芯国际在28nm工艺领域的营收只有8%。而在这个时间段,台积电更是在15nm工艺进行布局,在到了2017年更是实现了7nm制作工艺。

至于中芯国际,在2017年主要营收还是依靠在90nm技术,而14nm也并没有实现技术突破,并在28nm领域苦苦挣扎,落后台积电3代。同时,在近日台积电再次确认!率先进入5nm领域,可是反观中芯国际连目前全球最顶尖的7nm制造技术还未突破,这样的情况不免让人感到唏嘘。

实际上,中芯国际和台积电的差距如此之大,原因还是在于研发资金方面投入的悬殊。在2015年,台积电芯片研发支出23亿美元,而中芯国际的研发资金仅为3.2亿美元。在芯片制造设备方面,光刻晶圆设备被西方限制,中芯国际只能购买荷兰ASML公司的低端光刻机来进行量产,最终导致落后于三星和台积电。因此中芯国际想要在5年时间之内赶上台积电的脚步似乎不可能。

除了研发投入和制造设备外,人才储备不足才是中芯国际最大的硬伤。由于中芯国际起步较晚,主要研发团队中极度缺乏的本土化人才,所以在环境条件的限制下,中芯国际只能严重依赖海外技术。不过在近两年,中芯国际也意识到了这个问题,并积极引进技术人才,而梁孟松的加入就是最典型的例子。



就目前而言,国内芯片企业还处于技术成长期,而作为全球芯片制造巨头,台积电已经开始在5nm工艺领域进行布局,这样一来也拉大了与还在处于14nm工艺阶段的中芯国际,所以在硬性条件的限制下,台积电或将领先中芯国际最少5年。
 
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全球顶尖的光刻机,几乎都来自荷兰,为什么不是美国或者日本?

为什么这全球顶尖的光刻机,几乎都来自荷兰,而不是美国和日本呢?

1、ASML自身独特的定位

ASML在发迹之初,并没有像尼康和佳能那样,各方面综合提升自己的实力,反而在全球各地寻求合作。其光刻机中,更是有超过90%的零件都是面向全球采购,别家企业为他们提供最优质的零部件,而ASML说到底,只是需要将其“组装”而已。但就是这样一个“组装”的工作,世界上却只此一家。

2、 “共享利润”以及格外注重用户体验

对于包括台积电等企业在内的客户提出的要求,ASML都能完美达成。而且为了吸引供应商与其结盟,ASML甚至还“大言不惭”地对其承诺“共享利润”。但就是这种尼康和佳能想也不敢想的“病急乱投医”的做法,却让ASML迅速积累不少股东,后来更是得到美国以及欧盟的支持。

3、巨额投入搞研发
而很明显,ASML也并没有因为背靠大树好乘凉,便无所事事,反而每年都会投入巨大的资金做研发,至少是其营收的15%。也因此,仅仅用10年的时间,ASML就由一个濒临倒闭的企业,变为“躺着”赚钱的存在。

4、实力是最强底气
笔者据多方查询得知,仅是在2017年,ASML的市场份额便占据全球市场的87.4%。而且在目前的光刻机领域,也只有荷兰ASML能生产出7nm精度的超高端光刻机。

虽然ASML公司从某种意义上来说,只是“组装”工厂,但正如ASML曾经所言:“就算是把全套图纸给你们,你们也生产不出来”。实力,就是他们至今能躺着赚钱的资本。
 
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光刻机这东西,中国人真的做不了吗?

美国拥有强大的科技研发实力,苹果谷歌微软都是鼎鼎大名的公司,已经被很多人所熟知。但是,美国却造不出一样东西,那就是光刻机。光刻机是芯片制造最重要的设备,苹果高通华为的芯片设计出来后,都要经过光刻机才能把芯片“复印”出来,它的原理就和复印机类似。众所周知,荷兰ASML能够制造全球最强的光刻机,其最先进极紫外光刻机(EUV)售价高达数亿,而且限量供货!

不过需要明白的一点是,尽管荷兰ASML光刻机很强大,但它的零部件和核心技术很多都来源于美国,背后有大量尖端科技公司共同控股。因此,ASML表面上看属于荷兰,但事实上它是一家由全球芯片巨头共同成立的公司。光刻机的每一个部件都非常复杂,精度要求极高。ASML光刻机的激光器,光束矫正器,能量控制器,能量探测器,物镜全部都需要特级定制。

相比起荷兰ASML光刻机,国产光刻机依然停留在比较落后的水平,最先进的极紫外光刻机(EUV)还做不出来。不过好消息是,国产光刻机早前已经利用紫外光源,实现22nm分辨率芯片的制造,这无疑是一个巨大的进步。由此可见,中国人并非造不出光刻机。有分析人士认为,只要我们积累了大量的经验和知识,并且培养出足够多的尖端制造业企业,要生产出一台顶级国产光刻机其实并不太困难。希望如此。
 
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转:衡水中学校长:我们搞的就是素质教育

“没有调查就没有发言权。”7月1日,在北京大学(分数线,专业设置)召开的第二届“大学-中学”圆桌论坛上,与谈人之一衡水中学校长郗会锁表示,外界普遍认为衡中的师生生活在“地狱”,学校是“高考工厂”,但现实并非如此。

“现在我们在拍摄一部纪录电影,由中央电视台导演指导拍摄。他们从去年就进入衡水中学,吃住在学校,用一年的时间,拍出一个真实的衡中。”他说,“我们都是‘演员’,也没有演员,每天都是真实的记录。”

当澎湃新闻问及如何定义当前的“衡中模式”,郗会锁表示很难用一句话形容。他强调,“衡中的教育是素质教育,多元化教育”,学校的教育模式和理念与高考改革构建多元化评价体系的方向也是一致的。

衡中不是“地狱”,每天都保证8个半小时睡眠

论坛上,郗会锁用了20分钟大述衡中这些年受到的“委屈”。他表示,衡中并非“地狱”,相反,从高一到高三,即使是毕业班的孩子,学校都要保证他们必须有8个半小时的睡眠,每天一小时阳光锻炼,跑操两次,一周三次体育课。

此外,学生也并非“读书机器”。郗会锁称,学校专门安排了收看新闻的时间,学生排队买饭、吃饭、回到教室的时候都有可以收看到新闻,做到“家事国事天下事、事事关心”。

对于衡中被指责大搞“应试教育”,郗会锁在会上和会后向嘉宾及媒体反复强调,“衡中搞的就是素质教育”。

他向澎湃新闻表示,衡中希望给学生终身受益的教育,不能只让孩子受益三年,“要为孩子以后一生的发展奠定基础,比如好的生活习惯、价值观和科学的思维方式”。

具体落实在学校、课堂方面,他解释,“素质教育不是吹拉弹唱,素质教育的主阵地在课堂上。衡中课堂上强调“四声”——笑声、赞美声(学生之间、老师与学生之间的赞美)以及提问声等。

在郗会锁看来,当前衡中的素质教育也取得了一定进展,比如毕业典礼后学生离开,“整个校园干干净净、宿舍整整洁洁,教室一层不染”,学生们还给老师鞠躬拥抱。

他同时也表示,高分、高升学率与素质教育并不矛盾,“素质教育不能成为低分的遮羞布”,“素质高了,升学率也没理由掉下来”。

“过去高考是‘背多分’时代,但是现在拿着书都找不到答案,高考本身就是考素质、人生观、思维方式,非常灵活,所以应试本身也是素质教育的一部分。” 郗会锁反过来说道。

谈到以教学改革著称的北京十一学校,郗会锁直言“令人羡慕”。但他同时指出,北京十一学校是素质教育,衡中也是素质教育,人才是多元化的,有多种特色,不能千篇一律。

北京十一学校因为率先开展走班上课,根据学生兴趣、特点开设数百门课程,该学校被称为“新世纪以来众多推进课程改革、实施素质教育的普通高中学校的代表和典型”。与之对比,郗会锁认为,衡中对普通学校如何去发展的启发意义更大。

  升学率是现实问题

对于衡中引以为傲却又被诟病的“高升学率、高清北率”,郗会锁并不忌讳谈及。他明确表示,升学率对于一个学校很重要,抓升学率没有问题,重要的是“要抓绿色升学率,而不是带着血的升学率”。

“没有升学率一定是不行的。高分意味着好学校,好学校意味着好工作,这是个现实问题。”他提到,孩子是一个家庭的全部,如果学校不能把孩子送到一个理想的大学,那么家长也不会把孩子送到你的学校。

澎湃新闻了解到,对于长期以来在普通高中阶段存在的唯分数、唯升学的现象,教育部基础教育司司长吕玉刚曾表示,受高考指挥棒影响,一些学校确实存在着唯分数、唯升学的问题。近几年来国家在稳步推进高考综合改革,一个很重要的目标就是为了解决这些问题。

近日,新世纪以来国办出台的第一个关于普通高中教育改革的重要纲领性文件《国务院办公厅关于新时代推进普通高中育人方式改革的指导意见》还明确提出,要深化育人关键环节和重要领域的改革,着力扭转片面应试教育倾向,同时也提出了相应的措施。比如,严禁给学校下达升学指标或单纯以升学率评价及奖惩学校和教师、加快构建科学的教育评价体系等。

郗会锁表示,衡中并不会牺牲学生睡眠、也不主张让学生加班加点学习,学校的“高升学率”其实是用高效率换得。此外,他还介绍了衡中的制胜法宝——励志教育。

“学习考试痛不痛苦?因为学生被点燃了成功的欲望和知识兴趣,被激励了,他就会觉得学习是个快乐的事,为了自己的梦想去拼搏,这是个幸运的事。” 郗会锁认为,学校如同企业,应该激励学生的狼性和血性。

对于衡中的崛起和模式,北京大学中国教育财政科学研究所所长王蓉表示,实际上我们每个人在某些人的眼里,就像是一名曾经的衡中学生,都经历了中国的基础教育和高等教育。在她看来,衡中可被视为中国基础教育的一个缩影,很难对它做简单化的断言。
 
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光刻机这东西,中国人真的做不了吗?

美国拥有强大的科技研发实力,苹果谷歌微软都是鼎鼎大名的公司,已经被很多人所熟知。但是,美国却造不出一样东西,那就是光刻机。光刻机是芯片制造最重要的设备,苹果高通华为的芯片设计出来后,都要经过光刻机才能把芯片“复印”出来,它的原理就和复印机类似。众所周知,荷兰ASML能够制造全球最强的光刻机,其最先进极紫外光刻机(EUV)售价高达数亿,而且限量供货!

不过需要明白的一点是,尽管荷兰ASML光刻机很强大,但它的零部件和核心技术很多都来源于美国,背后有大量尖端科技公司共同控股。因此,ASML表面上看属于荷兰,但事实上它是一家由全球芯片巨头共同成立的公司。光刻机的每一个部件都非常复杂,精度要求极高。ASML光刻机的激光器,光束矫正器,能量控制器,能量探测器,物镜全部都需要特级定制。

相比起荷兰ASML光刻机,国产光刻机依然停留在比较落后的水平,最先进的极紫外光刻机(EUV)还做不出来。不过好消息是,国产光刻机早前已经利用紫外光源,实现22nm分辨率芯片的制造,这无疑是一个巨大的进步。由此可见,中国人并非造不出光刻机。有分析人士认为,只要我们积累了大量的经验和知识,并且培养出足够多的尖端制造业企业,要生产出一台顶级国产光刻机其实并不太困难。希望如此。

“售价高达数亿,而且限量供货!”
不是AMSL想限,而是人家目前只能生产得这么快。牛逼的技术都是时间积累出来的,EUV光源人家研究了近20年了,这两年才刚成熟,英特尔,三星,台积电这么多年来不断为AMSL输血,前后投了几十亿。如今好不容易果熟蒂落,自然优先供应这三家。中国的芯片厂耐心等等,也是可以等到的... 毕竟中国半导体加工的需求量超大,目前也算是光刻机的国际大客户。

国产方面,目前能量产的最精密级别是90nm,利用多次曝光,最多能给28nm芯片制程。当然这个也很不容易了,同样是长达十年以上的布局获得的突破。这种光刻机在生产非CPU的芯片,和其他半导体器件上需求量也是很大的。不过据说量产的紫外光源还是依赖进口。


“...不过好消息是,国产光刻机早前已经利用紫外光源,实现22nm分辨率芯片的制造,这无疑是一个巨大的进步。由此可见,中国人并非造不出光刻机。...”
这个是去年底的新闻,指的是用国产的365nm波长紫外光源,实现了22nm芯片制程工艺,当然了,这个是实验室突破,还不是量产机型。这个据说在AMSL内部都引发了一些讨论。因为现在主流的12nm以上制程,用的是193nm波长光源,新一代的10nm/7nm制程,用的是EUV,14nm波长的光源。365nm的光源做这个级别的芯片,国外以前有一些原理论证,但是他们没有做下去,结果中国的一个团队根据这个理论进行了工程实现。
 
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这时候怎么习近平不来指导使中国公司超过sml啊,是不是只会指导母猪配崽之类的?



SML研发第二代EUV光刻机:性能提升70% 2025年问世

半导体制造过程中最复杂也是最难的步骤就是光刻,成本能占到整个生产过程的1/3,光刻机也因此成为最重要的半导体制造装备,没有之一。目前最先进的光刻机是荷兰ASML公司生产的EUV光刻机,每台售价超过1亿美元,而且供不应求。

2019年,台积电、三星都会开始量产7nm EUV工艺,现有的EUV光刻机也差不多成熟了,虽然产量比起传统的DUV光刻机还有所不如,不过已经能够稳定量产了,7nm及明年的5nm节点上EUV光刻机都会是重点。

EUV光刻机未来还能怎么发展?2016年ASML公司宣布斥资20亿美元收购德国蔡司公司25%的股份,并投资数亿美元合作研发新一代透镜,而ASML这么大手笔投资光学镜头公司就是为了研发新一代EUV光刻机。

日前韩媒报道称,ASML公司正积极投资研发下一代EUV光刻机,与现有的光刻机相比,二代EUV光刻机最大的变化就是High NA(高数值孔径)透镜,通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩分辨率、套准精度两大光刻机核心指标提升70%,达到业界对几何式芯片微缩的要求。

在这个问题上,ASML去年10月份就宣布与IMEC比利时微电子中心合作研发新一代EUV光刻机,目标是将NA从0.33提升到0.5以上,而从光刻机的分辨率公式——光刻机分辨率=k1*λ/NA中可以看出,NA数字越大,光刻机分辨率越高,所以提高NA数值孔径是下一代EUV光刻机的关键,毕竟现在EUV极紫外光已经提升过一次了。

之前ASML公布的新一代EUV光刻机的量产时间是2024年,不过最新报道称下一代EUV光刻机是2025年量产,这个时间上台积电、三星都已经量产3nm工艺了,甚至开始进军2nm、1nm节点了。
 
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台積電最早的技術來自荷蘭菲利浦公司,它以前也是台積電的最大股東。
晶圓生產的輸贏在良率與效能,同樣奈米級別下,台積電的良率和效能勝過三星,所以台積電才能獨佔高階晶圓市場,雖然三星一直用低價搶單,但客戶不領情。
有技術會生產是不夠的,若良率和效能差還是沒有競爭力的。
 
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希望2025年中国的光刻机也追上世界先进水平, 要是能追上第一代EUV光刻机水平,已经非常非常 happy了。
内心是有些复杂的,肯定希望祖国科技紧跟世界顶级前沿,但同时也知道老共一旦掌握了这些西方仅有的核心商业价值的高科技,那真是对美帝和西方国家是致命打击。
 
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台積電最早的技術來自荷蘭菲利浦公司,它以前也是台積電的最大股東。
晶圓生產的輸贏在良率與效能,同樣奈米級別下,台積電的良率和效能勝過三星,所以台積電才能獨佔高階晶圓市場,雖然三星一直用低價搶單,但客戶不領情。
有技術會生產是不夠的,若良率和效能差還是沒有競爭力的。

良率本身就是制程工艺技术含量的一部分。其他厂家所谓的做不出来,比如英特尔的10nm难产,其实也就是良率上不去的意思。EUV光源的能源损耗非常大,生产成本本身就高,生产效率也比193nm的低很多,对投产需要达到的良率要求就更高了。

要注意的是nm等级,是各个厂家自己的定义,类似CPU的时钟频率一样。纯粹数字的对比来判断先进程度,其实不是绝对准确的。比如英特尔的10nm,据说其工艺所能达到的晶体管密度是高于台积电和三星的7nm工艺的,而且高不少。
 
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良率本身就是製程工藝技術含量的一部分。其他廠家所謂的做不出來,比如英特爾的10nm難產,其實也就是良率上不去的意思。EUV光源的能源損耗非常大,生產成本本身就高,生產效率也比193nm的低很多,對投產需要達到的良率要求就更高了。

要注意的是nm等級,是各個廠家自己的定義,類似CPU的時鐘頻率一樣。純粹數字的對比來判斷先進程度,其實不是絕對準確的。比如英特爾的10nm,據說其工藝所能達到的晶體管密度是高於台積電和三星的7nm工藝的,而且高不少。

IPhone6同樣是14奈米三星的效能就不如台積電的,所以後來的iPhone的芯片全都由台積電包攔了。
英特爾10奈米不如台積電,所以AMD趁機搶了不少市佔率,股票從4元漲到現在31元,接著明年5奈米開出,英特爾可能會尋求台積電或三星支援了。
AMD,台裔CEO蘇豐姿將代工從格羅方卓轉到台積電是重大的轉勝點,價格不是惟一的勝負關鍵。
 
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IPhone6同樣是14奈米三星的效能就不如台積電的,所以後來的iPhone的芯片全都由台積電包攔了。
英特爾10奈米不如台積電,所以AMD趁機搶了不少市佔率,股票從4元漲到現在31元,接著明年5奈米開出,英特爾可能會尋求台積電或三星支援了。
AMD,台裔CEO蘇豐姿將代工從格羅方卓轉到台積電是重大的轉勝點,價格不是惟一的勝負關鍵。

英特尔和AMD都还没出过10nmCPU吧,上一代的比拼是AMD的12nm台积电制程,对英特尔的14nm制程。接下来AMD将采用台积电7nm制程来抗衡Intel的10nm

台积电的技术迭代确实快,DUV光源的老机台,从16nm,12nm快速推进到10nm,再到极限的7nm,多重曝光工艺步骤增加那么多,居然全部都能实现按时量产。接下来EUV光源的7nm估计也是台积电第一个上市量产。

华人还是工作勤奋,996三班倒的爆肝式拼搏,不是洋人学得来的。日本当年技术快速进步,同样是有大量的加班狂魔在后面推动。
 
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英特尔和AMD都还没出过10nmCPU吧,上一代的比拼是AMD的12nm台积电制程,对英特尔的14nm制程。接下来AMD将采用台积电7nm制程来抗衡Intel的10nm

台积电的技术迭代确实快,DUV光源的老机台,从16nm,12nm快速推进到10nm,再到极限的7nm,多重曝光工艺步骤增加那么多,居然全部都能实现按时量产。接下来EUV光源的7nm估计也是台积电第一个上市量产。

华人还是工作勤奋,996三班倒的爆肝式拼搏,不是洋人学得来的。日本当年技术快速进步,同样是有大量的加班狂魔在后面推动。
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英特爾和AMD都還沒出過10nmCPU吧,上一代的比拼是AMD的12nm台積電製程,對英特爾的14nm製程。接下來AMD將採用台積電7nm製程來抗衡Intel的10nm

台積電的技術迭代確實快,DUV光源的老機台,從16nm,12nm快速推進到10nm,再到極限的7nm,多重曝光工藝步驟增加那麼多,居然全部都能實現按時量產。接下來EUV光源的7nm估計也是台積電第一個上市量產。

華人還是工作勤奮,996三班倒的爆肝式拼搏,不是洋人學得來的。日本當年技術快速進步,同樣是有大量的加班狂魔在後面推動。

英特爾的CPU因生產良率低產量不足,造成供不應求,廠商轉向購買AMD的芯片。
AMD不是只有賣CPU,電競和AI的芯片訂單也成長不少,輝達也被搶走不少訂單,英特爾只剩CPU還領先群雄,伺服器訂單丟了不少,AI更是落後了,手機部門都賣掉了。
電子業的產業特性,淡旺季太不均衡了,所以在才適合大陸的發展,因為大陸人喜歡賺加班費又耐操,台積電的夜班大部份由外勞操作,美國波特蘭廠也有夜班,但效率確實不如台灣廠。
 
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英特爾的CPU因生產良率低產量不足,造成供不應求,廠商轉向購買AMD的芯片。
AMD不是只有賣CPU,電競和AI的芯片訂單也成長不少,輝達也被搶走不少訂單,英特爾只剩CPU還領先群雄,伺服器訂單丟了不少,AI更是落後了,手機部門都賣掉了。
電子業的產業特性,淡旺季太不均衡了,所以在才適合大陸的發展,因為大陸人喜歡賺加班費又耐操,台積電的夜班大部份由外勞操作,美國波特蘭廠也有夜班,但效率確實不如台灣廠。

“大陸人喜歡賺加班費又耐操”

哈哈,你也太敏感了,这都要酸大陆一下

台积电当年的夜鹰计划,原来响应参加的都是大陆的研发工程师啊,这也很好啊
 

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